| 设备名称 |
日本日立高分辨热场发射扫描电子显微镜SU5000扫描电镜 |
| 行业分类 |
化学，物理学，材料学，生物学 |
| 制造国家 |
日本 |
| 主要规格及技术指标 |
热场发射扫描电镜，SE分辨率30KV，1.2nm(工作距离5mm);BSE分辨率15KV（低真空）：2.5nm；束流0-200nA;最大样品尺寸：200mm(直径）80mm(高度） |
| 主要附件和配置 |
附件功能强大：电子束曝光，红外CCD，离子束清洁系统等.
英国Oxford公司的Ultim Max 能谱分析仪 |
| 设备属性 |
SU5000 Scanning Electron Microscope |
| 生产厂家 |
日立高新技术公司 |
| 购置时间 |
2020-05-18 00:00:00 |
| 主要功能和特色 |
1.二次电子分辨率:顶位二次电子探测器（2.0n.m at1Kv）*2.高灵敏度：高效PD-BSD.超强的低加速电压性能，低至100V成像 3.大束流（＞200nA）：便于高效微区分析 .
利用二次电子和背散射电子对样品表面微观形貌和原子序数衬度进行分析；配置X射线能谱仪，可进行微分成分分析；配备有低真空模（10-300Pa）；对磁性样品友好，可进行磁性样品较高分辨率成像;对导电性较差的样品可不镀膜成像.
|
