| 设备名称 |
TESCAN AMBER 聚焦离子束（FIB）双束电镜 |
| 行业分类 |
材料 |
| 制造国家 |
捷克 |
| 主要规格及技术指标 |
（离子光学系统）视野范围1 mm @ 10 keV（离子光学系统）探针电流<1 pA ~ 100 nA（离子光学系统）分辨率2.5 nm @ 30 kV（离子光学系统）发射源镓离子源（电子光学系统）视野范围7.0 mm @ WD=6 mm, >50 mm @ 最大WD（电子光学系统）探针电流~ 400 nA（电子光学系统）分辨率0.9 nm @ 15 kV(电子光学系统）发射源肖特基场发射源 |
| 主要附件和配置 |
EDS |
| 设备属性 |
TESCAN AMBER |
| 生产厂家 |
泰斯肯 TESCAN |
| 购置时间 |
2022-06-22 00:00:00 |
| 主要功能和特色 |
新一代镜筒内电子加速、减速技术，保证了复杂样品的低电压高分辨观测能力首次配置的静电-电磁复合物镜，物镜无磁场外泄，实现磁性样品高分辨成像及分析配置4个新一代探测器，可实现9种图像观测，对样品信息的采集更加全面配置大型样品室，有超过20个扩展接口，为原位观测、分析创造了良好的工作环境可以配置TESCAN自有或第三方的多种扩展分析附件，并独家实现与TOF-SIMS、Raman联用新一代操作软件和自动功能，FIB镜筒具有全自动的离子镜筒对中，极大简化了操作。
新一代 Orage™ Ga FIB镜筒，适用于各类具有挑战性的纳米加工任务
TESCAN AMBER 配置了zei新的BrightBeam™镜筒，实现了无磁场超高分辨成像，可以zei大化的实现各种分析，包括磁性样品的分析。新型镜筒中的电子光路设计增强了低能量电子成像分辨率，特别适合对电子束敏感样品和不导电样品的分析。创新的Orage™ Ga FIB镜筒配有zei先进的离子枪和离子光学镜筒，使得TESCAN AMBER成为了世界顶级的样品制备和纳米图形成型的仪器。
TESCAN AMBER 束流可达100nA，具有超快速的加工能力，新颖的SmartMill高速切割功能，使得加工效率提升一倍。
TESCAN AMBER离子能量zei低可达500eV，拥有更优秀的低压样品制备能力，可以快速制备无损超薄TEM样品。
可以配置TESCAN自有或第三方的多种扩展分析附件，并独家实现与TOF-SIMS、Raman一体化。 |
